Prozesstechnologien für die heterogene Integration von Formgedächtnislegierungen (ProAuSter)

Im Rahmen dieses IGF-Kooperationsprojektes zwischen Hahn-Schickard und dem Fraunhofer IWU werden Prozesstechnologien für die heterogene Integration von Formgedächtnislegierungen (FGL) in siliziumbasierten Mikrosystemen weiterentwickelt. Ziel ist es, die erforderliche Zuverlässigkeit und Robustheit heterogen aufgebauter Mikrosysteme mit FGL für medizintechnische Anwendungen zu erreichen.

Das Forschungsvorhaben ProAuSter knüpft an das IGF-Vorgängerprojekt AuSter an und hat sich zum Ziel gesetzt, die erforderlichen Prozesstechnologien für die heterogene Integration von Formgedächtnislegierungen (FGL) weiterzuentwickeln und am Beispiel eines Sterilisationszyklenzählers zu erproben. Zu den erforderlichen Prozesstechnologien gehören die reproduzierbare Herstellung von FGL-Aktoren mit Hilfe geeigneter Umformwerkzeuge sowie die hermetische und sterilisationsfeste Verkapselung. Für eine erweiterte Anwendbarkeit des Sterilisationszyklenzählers soll die konstruktive Zyklenzahl mit Hilfe neue Konzepte von bisher 100 auf bis zu 10.000 erhöht werden.

Mit der Verfügbarkeit eines robusten und zuverlässigen Zyklenzählers mit hoher Zyklenzahl wird die Behebung eines bestehenden Problems und die Verbesserung bestehender Produkte im Bereich der Medizintechnik adressiert. Davon profitiert insbesondere die in Deutschland mittelständisch geprägte Medizintechnik-Branche. Die Prozesstechnologien und das damit entstehende neue Basiswissen ist Ausgangspunkt für neue Innovationen im Bereich mikrotechnischer Sensor-Aktor-Systeme und steht anschließend technologiebasierten KMU als Grundlage für weitere Anwendungen in den Bereichen Mikrofluidik, Optik und Messtechnik zur Verfügung.