Eine breite Auswahl an Mikrostrukturierungsverfahren ermöglicht die Herstellung von Bauteilen mit Mikro- und Nanostrukturen in höchster Qualität. Dabei können Direktstrukturierungsverfahren wie Ultrapräzisionsbearbeitung oder Laserbearbeitung eingesetzt werden sowie indirekte Verfahren, die einen anschließenden Galvanokopierprozess benötigen. Hierzu zählen Laserdirektschreiben, Elektronenstrahlschreiben und LIGA-Verfahren.
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