Prozesssichere Herstellung von keramischen 3D Schaltungsträgern (Prokeram3D)

Erhöhung der Prozesssicherheit und die Erarbeitung von Methoden zum Prozess-Monitoring bei der Herstellung von keramischen 3D-Schaltungsträgern.

Ziel des geplanten Vorhabens ist die Erhöhung der Prozesssicherheit und die Erarbeitung von Methoden zum Prozessmonitoring bei der Herstellung von keramischen 3D-Schaltungsträgern.

Dazu gehört die Erarbeitung einer prozesssicheren Dotierung der Al2O3-Keramiken für eine nachfolgende Laseraktivierung und Metallisierung. Hierbei sollen die Dotierstoffkonzentration und –verteilung, der Einfluss auf die Gefügestruktur der Keramik sowie eine Erweiterung der Werkstoffpalette, z. B. auf ZTA-Keramiken, zentrale Aspekte der Untersuchungen sein.

Eine verbesserte Prozesssicherheit der Laserstrukturierung und Metallisierung betrifft vor allem die Thematiken Fremdmetallisierung und Oberflächenrauheit der abgeschiedenen Metallschichten. Für ein Prozessmonitoring, welches die gesamte Prozesskette vom Keramikspritzguss über die Sinterung, Laserstrukturierung bis zur Metallisierung umfasst, soll eine geeignete Methodik, z. B. anhand Monitoring-Bauteilen mit Teststrukturen, erarbeitet werden. Weiter sollen Untersuchungen zur Zuverlässigkeit von keramischen 3D-Schaltungsträgern durchgeführt werden. Abschließend werden die erarbeiteten Erkenntnisse zu Richtlinien zur Prozessführung bei der Anfertigung von keramischen 3D-Schaltungsträgern zusammengefasst.