Wissenschaftliche Publikationen "Fertigungstechnologien"

Entsprechend den Zielen des Forschungsvorhabens haben die drei beteiligten Forschungseinrichtungen dazu neue flexible Produktionsverfahren zur industriellen Fertigung solcher kunststoffbasierten Mikrosystemen mit haftfesten dreidimensionalen Leiterbildern erarbeitet. Durch die umgesetzte Kompetenzaufteilung wurden im Vorhaben zwei unterschiedliche neue Ansätze erfolgreich untersucht und bewertet. Bei dem ersten Verfahren erzeugte das Institut für Mikroaufbautechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft (HSG-IMAT) auf dünnen, metallischen Opferträgerfolien aus Kupfer zunächst eine Maske mittels Inkjet-Verfahren. Darauf wurde am Forschungsinstitut für Edelmetalle und Metallchemie (fem) mittels galvanotechnischer Verfahren ein Schichtstapel aus Gold, Nickel und Kupfer in den nicht bedruckten Bereichen mit einem Hinterschnitt aufgebaut. Nach dem Strippen der Maske wurde die so vorbereitete Trägerfolie am Institut für Mikroaufbautechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft mit einem Hochleistungsthermoplasten hinterspritzt. Abschließend erfolgte dann die Entfernung der Trägerfolie in einem letzten Ätzprozess. Das Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickart-Gesellschaft (HSG-IMIT) erzeugte beim dem zweiten untersuchten Verfahren zunächst eine ganzflächige Oberflächenmetallisierung durch eine Abscheidung aus der Gasphase (PVD), die dann mittels der Heißwachs – Tintenstrahl-Drucktechnologie maskiert wurde. Danach erfolgte die additive und/oder subtraktive Strukturierung der freigelegten Metalloberfläche mittels der galvanotechnischen Abscheideverfahren oder nasschemischen Ätzprozessen.

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