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2022 |
Replizierte gekapselte diffraktive Optiken mittels lithographisch strukturierter 3D-Werkzeugeinsätze für komplexe optische Kunststofflinsensysteme (REDOLIS 3D)Stefan Wagner |
2022 |
3D-ceramic interconnect devices produced via direct laser-induced metallization of modified Al2O3Alexander Schilling, Philipp Ninz, Sascha Weser, Andrea Knöller, Thomas Günther, Wolfgang Eberhardt, Frank Kern, André Zimmermann Konferenz: Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies, CICMT 2022 |
2022 |
Novel Fabrication Technology for Thermoelectric Infrared Sensors Using Surface MicromachiningP. Raimann, S. Billat, I. Spies, J. Dietrich, D. Hoffmann, S. Keller, A. Dehé Smart Systems Integration, 27.-28. April 2022, Grenoble, Frankreich Kurzfassung einblendenIn this paper a novel fabrication technology for thermoelectric infrared sensors is presented. For the first time, the thermal insulation of the absorber structure is achieved by self-assembling multilayer thermocouples. After removal of a sacrificial oxide layer by vapor hydrogen fluoride (vHF) etching, the thermocouples lift off due to residual stress gradients. This provides the necessary distance between the absorber and the substrate. Compared to state-of-the-art sensors, this implementation does not require extensive bulk processing such as grinding and cavity etching to achieve a thermally isolated absorber structure. The deflection of the realized structures has shown high agreement with an analytical model which is also presented in this paper.
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2022 |
Microthermoforming - enhancing Blister technologyD. Kainz 12th European Thermoforming Conference 2022, 31st March - 1st April 2022, Vienna, Austria |
2021 |
Intelligente DiagnostikS. Wagner |
2021 |
Replikation von Zwei-Photonen-Lithographie-Strukturen für die Produktion strukturierter Kunststoffmikrooptiken in der TumordiagnostikStefan Wagner, Serhat Sahakalkan photonics Flashlight, Fachmagazin |
2022 |
Gedruckte leitfähige Strukturen aus Spezial-Legierungen (SpezLe)Tim Horter, Ingo Wirth Im Wachstumsmarkt der “Gedruckten Elektronik” steigt der Bedarf an metallischen Tinten und Pasten kontinuierlich an. Neben Edelmetallen wie Silber (z.B. für Leiterbahnen), Gold (z.B. für medizintechnische Anwendungen) und Platin (z.B. für Temperatursensoren) werden druckbare Metalllegierungen (z.B. CuNiMn) für Dehnungs- und Temperatursensoren, für Heizstrukturen oder für hochgenaue druckbare Widerstände benötigt. Andere Metalllegierungen wie AgPd oder AgPdCu eignen sich z.B. bei Lotverbindungen zur Ankontaktierung von elektronischen Bauelementen. |
2021 |
Fertigungsbegleitende Oberflächencharakterisierung zur Qualitäts- und Effizienzsteigerung bei der Herstellung komplexer kunststoffbasierter mechatronischer Baugruppen (FOQusA. Knöller Das Ziel des Forschungsvorhabens FOQus war die Entwicklung einer Methodik zur fertigungsbegleitenden bzw. Inline-fähigen Oberflächencharakterisierung von komplexen kunststoffbasierten mechatronischen Baugruppen, sowie die Optimierung aller Prozessschritte bei deren Herstellung, um den Ausschuss möglichst zu minimieren. |
2021 |
Reaktives Fügen von temperaturempfindlichen DehnungssensorenA. Schumacher, V. Shah, S. Steckemetz, G. Dietrich, E. Pflug, T. Hehn, S. Knappmann, A. Dehé, A. Leson Journal of Materials Engineering and Performance, Band 30, pp. 7796-7804 |
2021 |
Reaktives Fügen von temperaturempfindlichen DehnungssensorenE. Pflug, A. Schumacher, G. Dietrich, S. Steckemetz, T. Hehn, S. Knappmann, A. Dehé, A. Leson 27. Neues Dresdner vakuumtechnisches Kolloquium (NDVaK), 17. - 18. März 2021, Online |
2021 |
Telemetrische Verformungsmessung mit einem CMOS-integrierten SensorchipT. Hehn, H. Rietsche Sensor und Test 2021, 04. - 06. Mai 2021, Online |
2021 |
Aufbau und Charakterisierung eines CMOS-integrierten Sensorsystems zur Messung von VerformungenA. Schumacher, V. Shah, S. Knappmann, T. Hehn, A. Dehé Mikrosystemtechnik-Kongress 2021, 9. - 10. November 2021, Ludwigsburg |
2021 |
Fertigungsbegleitende Oberflächencharakterisierung zur Qualitäts- und EffizienzsteigerungAndrea Knöller Fertigungsbegleitende Oberflächencharakterisierung zur Qualitäts- und Effizienzsteigerung bei der Herstellung komplexer kunststoffbasierter mechatronischer Baugruppen (FOQus) |
2022 |
Kontaktierung gedruckter, leitfähiger Strukturen (KonsDruckt)Jonas Jäger, Kerstin Gläser, Wolfgang Eberhardt Im Projekt „KonsDruckt“ wurden Prozesse für unterschiedliche Verfahren zur Kontaktierung gedruckter, leitfähiger Strukturen erarbeitet. Hierzu wurden zunächst durch Inkjet-Druck und anschließendes Sintern leitfähige Strukturen aus Silber, Kupfer und Gold auf unterschiedlichen Substraten hergestellt. |
2021 |
Replizierte gekapselte diffraktive Optiken mittels lithographisch strukturierter 3DWerkzeugeinsätze für komplexe optische KunstsStefan Wagner, Marcel Röder, Christof Pruss, Kevin Treptow, Martina Zach In diesem IGF-Vorhaben wurden gekapselte, diffraktive Kunststofflinsen erfolgreich mittels Spritzprägen hergestellt. Dazu wurde eine Prozesskette etabliert, welche die Herstellung einer gekrümmten, mikrostrukturierten Masterstruktur mittels Laserdirektschreiben auf einem UPMgefertigten Grundkörper, die galvanotechnische Replikation des Masters und den anschließenden Werkzeugbau zeigt. Der Werkzeugbau unterteilt sich dabei in die Konzeption und den Aufbau eines geeigneten Spritzprägewerkzeugs und dem passgenauen Einbringen einer galvanisch abgeformten Nickelstruktur in das Werkzeug. |
2021 |
Schlussbericht AiF KonsDruckt (20337N)Jonas Jäger, Kerstin Gläser, Wolfgang Eberhardt Abschlussbericht |
2022 |
Contacting Inkjet-Printed Silver Structures and SMD by ICA and SolderJonas Jäger, Sascha Buschkamp, Kai Werum, Kerstin Gläser, Tobias Grözinger, Wolfgang Eberhardt and André Zimmermann IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology Kurzfassung einblendenHybrid printed electronics combine the advantages of printed electronics and conventionally manufactured parts. Digitally printed conductive structures often need to be electrically connected to batteries, microcontrollers or other devices. A consensus of industry and research is, that hybrid printed electronics will play a major part in the future of printed electronics. To promote the technology of hybrid printed electronics, surface mount technologies for electronic components using isotropic conductive adhesives (ICA) and low melting tin bismuth solders on inkjet-printed silver structures on injection molded LCP substrates were investigated. The special needs for inkjet-printed electronics were considered as well as the reliability of assembled surface mounted devices (SMD) and their failure mechanisms. Connected 0603 and 1206 SMD-components achieved characteristic lifetimes of over 3500 cycles during thermal cycling at + 125 °C / - 40 °C and withstood over 1000 h under damp-heat atmosphere of + 85 °C / 85 % RH. The coefficient of thermal expansion of the substrate and the adhesion of the inkjet-printed structures have major impacts on the reliability of the assemblies. |
2021 |
An Otoplastik angepasster Leiterbahndruck und AVT-Prozesse (OLA)Kai Werum, Kerstin Gläser, Jonas Jäger, Tim Horter BMBF Verbundprojekt MikroBo: Mikroelektronik für permanente, nichtinvasive Blutdruckmessung im Ohr - Teilvorhaben: An Otoplastik angepasster Leiterbahndruck und AVT-Prozesse (OLA) |
2021 |
Aufbau und Charakterisierung eines CMOS-integrierten Sensorsystems zur Messung von VerformungenA. Schumacher, V. Shah, S. Knappmann, T. Hehn, A. Dehé Mikrosystemtechnik Kongress 2021, Ludwigsburg, Deutschland Im Rahmen dieser Arbeit wurde der Einfluss der Montage eines CMOS-integrierten Sensorsystems auf das Sensorverhalten untersucht. Hierzu wurden Sensorchips einerseits mittels eines epoxidbasierten Klebstoffs und andererseits durch reaktives Fügen auf Zugproben aus Edelstahl befestigt, und es wurde der Einfluss des Fügeprozesses auf die Spannungsverteilung im Sensorchip untersucht. An einer Zugprüfeinrichtung wurden für beide Fügevarianten die Sensorkennlinien aufgenommen. Beide Varianten zeigen ein lineares Sensorverhalten, wobei der reaktiv gefügte Sensorchip eine ca. 2,5- fach höhere Empfindlichkeit aufweist. Zur Ermittlung der Dehnungs-Kopplung wurde für beide Fügevarianten die tatsächliche Chipdehnung mithilfe von Dehnmessstreifen ermittelt und in Relation zur Dehnung der Zugprobe gebracht. Der auf diese Weise ermittelte Kopplungsfaktor beträgt beim geklebten Chip etwa 0,18, beim reaktiv gebondeten Chip liegt er mit 0,43 deutlich darüber. |
2021 |
Aufbau und Charakterisierung eines CMOS-integrierten Sensorsystems zur Messung von VerformungenA. Schumacher InnovationForum Smarte Technologien & Systeme Kurzfassung einblenden |