Wirtschaftliche und praxisorientierte Herstellung von 3D-Keramiksubstraten (LasKer3D)

Die Motivation für das Vorhaben ist die Erarbeitung von Verfahren für einen prozesssicheren, reproduzierbaren Aufbau dreidimensionaler, spritzgegossener keramischer Schaltungsträger unter industriell zugänglichen und wirtschaftlichen Bedingungen. Weiter sollen Voraussetzungen zur Integration von strukturierten Keramiksubstraten in komplexe miniaturisierte Systeme geschaffen werden.

Im Vorhaben werden die zum Aufbau der 3D-Schaltungsträger erforderlichen  laserstrukturierbaren Keramikwerkstoffe sowie der Laserprozess für die Keramikaktivierung zur außenstromlosen selektiven Metallisierung optimiert. Im Fokus stehen dabei die Herstellung feinster Leiterstrukturen sowie eine erhöhte Wirtschaftlichkeit und bessere Zugänglichkeit der Herstellungsprozesse z. B. durch oxidierenden Sinterbrand und Verwendung von ns-gepulsten Laserquellen. Für die Integration der strukturierten Keramiksubstrate in komplexe Mikrosysteme werden Untersuchungen zu AVT-Technologien wie Drahtbonden und Löten durchgeführt. Weiter wird die Realisierung von lasergebohrten Durchkontaktierungen für zweilagige keramische Schaltungsträgern untersucht, sowie auch die Möglichkeit zur Erzielung höherer Leiterbahndicken mittels galvanischer Nachverstärkung.