Hybride Optische Low-Cost-Elemente für optische Sensoren (HOLEOS)

Das Ziel des Forschungsvorhabens war die Erarbeitung von Grundlagen für einen Herstellungsprozess von gekrümmten spritzgeprägten Diffraktiven Optischen Elementen (DOEs). Hierfür wurde eine neue Prozesskette etabliert, bestehend aus Laserdirektschreiben, Galvanokopieren und Spritzprägen.

Zunächst wurden gekrümmte Glasmaster mittels Laserdirektschreiben hergestellt. Hierfür wurden gekrümmte Glaslinsen mit Photoresist beschichtet und anschließend die diffraktiven Strukturen mit dem Laser eingebracht. Im Anschluss wurden aus den Glasmastern mittels Galvanokopieren Werkzeugeinsätze hergestellt, welche in ein Spritzprägewerkzeug integriert wurden. Die DOEs wurden anschließend in einem Spritzprägeprozess hergestellt und charakterisiert. Die Funktionsfähigkeit und Effizienz wurde in einem konfokalen Messaufbau evaluiert.