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Hermetisches Fügen mithilfe reaktiver Multischichtsystemen (HermFüg)

Diese innovative Löttechnik ermöglicht durch minimalen Wärmeeintrag stressarmes und schonendes Fügen bei temperaturempfindlichen Bauelementen. Spezielle rissarme Reaktivschichtsysteme sollen entwickelt werden, um die Hermetizität der Fügeverbindung zu gewährleisten.

Ziel des Projekts ist die Entwicklung hermetisch dichter Verbindungen durch reaktives Fügen auf Bauteil- und Waferebene.

Die Arbeitsschwerpunkte sind:

  • Simulation des Wärmehaushalts beim reaktiven Fügen
  • Entwicklung rissarmer Reaktivschichtsysteme
  • Fügeprozesstechnik auf Bauteil- und Waferebene
  • Fügeversuche und Charakterisierung der Fügeverbindungen
  • Herstellung von Funktionsmustern
Projektname
Hermetisches Fügen von MEMS-basierten Bauelementen mithilfe von reaktiven Multischichtsystemen (HermFüg)
Fördernummer
19069 BG / 2
Laufzeit
01.03.2016 bis 30.11.2018
Kooperationspartner
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS Dresden
Reifegrad
Research
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Kompetenzen

  • Aufbau- und Verbindungstechnik
  • Mikromontage
  • Fügetechnik
  • Reaktives Fügen
  • Lasermaterialbearbeitung