Drucksensoren für den Hochtemperaturbereich (HighSens)

Keramische Drucksensoren für den Hochtemperaturbereich aus ultradünnen Zirkonoxidfolien mit drahtloser Auslesung, sowie Dünnfilmmetallisierung.

Im beantragten Fördervorhaben „HighSens“ werden Drucksensoren für den Einsatz unter harschen Umweltbedingungen entwickelt. Die derzeit gängige Methode zur Herstellung mikrostrukturierter Membranen ist die LTCC-Technologie (Low Temperature Cofired Ceramics), die ab etwa 600°C an ihre Grenzen stößt. Für dauerhaft stabile Messungen im höheren Temperaturbereich, wie sie häufig z.B. im Automobil, in Turbinen und in industriellen Anwendungsfeldern vorkommen, müssen neu zu entwickelnde Materialien und Aufbaukonzepte eingesetzt werden. Insbesondere für Industrie 4.0-Anwendungen sollen diese Sensoren drahtlos auslesbar, individuell herstellbar, sowie kostengünstig sein. Grundlage für die Entwicklung sollen ultradünne Zirkoniumdioxid-Folien (ZrO₂) der Firma Kerafol sein.