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Diffraktiv-reflektiv-optischer Beschleunigungssensor (DROPS)

Klassische MEMS-Beschleunigungssensoren weisen immer Signaldrift auf. Sensoren mit minimierter Drift sind hochpreisig und benötigen oft eine komplexe Auslesung. In DROPS wird eine Technologie für Beschleunigungssensoren entwickelt, die praktisch driftfreie Sensoren zu niedrigen Kosten ermöglicht.

Zur Erreichung einer praktisch driftfreien Sensortechnologie wird die Expertise von Hahn-Schickard zu diffraktiv-reflektiven optischen Drehgebern und zu MEMS-Beschleunigungssensoren vorteilhaft kombiniert und auf die neue Sensorgattung übertragen. Dies ermöglicht die Minimierung der Anzahl der auf dem MEMS abzuscheidenden Materiallagen und vermeidet so intrinsische mechanische Spannungen, die üblicherweise für die Drift verantwortlich sind. Zusätzlich wird die Anzahl der benötigten Masken minimiert, was die Kosten für das MEMS reduziert. Es sind grundsätzlich zwei Masken erforderlich, eine für die Nanoimprint-Lithografie der diffraktiven Strukturen und eine für das Freistellen des Feder-Masse-Systems. Im Gegensatz zu anderen optischen Beschleunigungssensortechnologien ist zudem die Auslesung äußerst einfach und damit kostengünstig, und ermöglicht eine deutliche Erhöhung der Auflösung durch Interpolation. Die einfache Aufbautechnik macht diese Sensortechnologie vor allem für KMU interessant, was durch die Zusammensetzung des Projektausschusses unterstrichen wird. Hahn-Schickard kann dabei die Fertigung der MEMS oder die AVT für Kleinserien übernehmen.

Projektname
DROPS
Fördergeber
IGF
Projektträger
AiF
Fördernummer
22282 N
Laufzeit
01.07.2022 bis 30.06.2024
Reifegrad
Funktionsmuster
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Kontakt

Dr. -Ing.

Jonathan Seybold

+49 711 685 84771 Kontakt per E-Mail

Kompetenzen

  • Sensorentwicklung
  • Optische Sensoren
  • Drehwinkelsensoren
  • Optikmodule
  • Optikdesign