Triaxial-sensitiver MEMS-Magnetfeldsensor (3DLKM)

Forschungsziel ist die Entwicklung eines triaxial-sensitiven MEMS-Magnetfeldsensors auf Basis eines innovativen Messprinzips in Kombination mit einem neuartigen Ausleseverfahren. Im Fokus steht dabei die Performance im Hinblick auf Linearität, Messbereich und magnetische Hysterese, wobei gleichzeitig eine geringe Baugröße und niedrige Fertigungskosten angestrebt werden.

Das Forschungsprojekt hat zwei übergeordnete Schwerpunkte, zum einen das Design des MEMS-Sensorelements und zum anderen die Entwicklung der darauf abgestimmten Auswerteelektronik. Ziel ist es, durch die Verbindung beider Schwerpunkte die Funktionalität der Lorentzkraft-Magnetometer auf MEMS-Basis zu demonstrieren.

Arbeitsschwerpunkte in der MEMS-Sensorelement-Entwicklung:

• Elemententwurf (analytisch, FEM)
• Waferlayout
• Mikrotechnologische Prozessierung, AVT
• Aufbau, Verifikation und Test der Messumgebung
• Verifikation und Test

Arbeitsschwerpunkte in der Elektronik-Entwicklung:

• Design Auswertelektronik
• Verifikation von Sensorelementen mit Auswerteelektronik im Labor
• Demonstratoraufbau/Funktionsmuster
• Validierung Funktionsmuster