MEMS-Produktion

Fertigung von Silizium Bauteilen - Hahn-Schickard bietet im eigenen Reinraum eine ideale Fertigungsumgebung für die Mikrosystemtechnik. Mit unseren Anlagen und Prozessen fertigen wir bereits in Stückzahlen vom Einzelchip bis zur Kleinserie.

Wir ermöglichen die Serienfertigung von Siliziumchips in Stückzahlen zwischen 200.000 und 2 Millionen pro Jahr (je nach Komplexität des Bauteils). So werden unter anderem thermische Volumenstromsensoren, Beschleunigungssensoren und fluidische Komponenten für unsere Kunden gefertigt. Hahn-Schickard schließt die Lücke zur Massenproduktion bei großen Chipherstellern aus dem MEMS-Bereich. Dabei ist auch die laufende Fertigung von Stückzahlen von lediglich einem bis nur einigen hundert Bauteilen pro Jahr durchaus üblich. Diese Kleinstserien decken meist den sehr speziellen Bedarf kleiner und mittelständischer Unternehmen.

Fertigung von Mikrosystemen

Um die Produktionsfähigkeit der entwickelten Verfahren zu gewährleisten, steht schon zu Beginn der Bauteilentwicklung die enge Zusammenarbeit mit unseren Kunden an erster Stelle. Die Durchführung und Dokumentation sämtlicher Prozesse erfolgt von der Entwicklung bis zur Serienfertigung gemäß ISO 9001:2015.
Produktspezifische Erweiterungen der Qualitätsnorm wurden in der Vergangenheit bereits für Kunden aus der Medizintechnik-, Automobil- oder Luftfahrtindustrie etabliert.

Sämtliche technologischen Prozesse der Silizium-Mikromechanik stehen in unserem Reinraum als qualifizierte Standardprozesse zur Verfügung. Die Standardisierung sorgt dafür, dass die bei uns entwickelten Prozesse reibungslos auf größere Stückzahlen skaliert werden können. Falls Sie Interesse haben, bereits bestehende Sensorlayouts bei uns zu fertigen, oder ein neues Design haben, rufen Sie an!

 

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