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MEMS Foundry

Kunden- und bauteilspezifische Prozessketten zur Herstellung mikromechanischer Komponenten sowie deren Integration im Gesamtsystem

Neben den kompletten Herstellungsprozessen für Prototypen- und Serienfertigung stehen sämtliche Standardprozesse auch als Dienstleistungsangebot zur Verfügung. Einzelne Prozessschritte oder Prozessfolgen können in unseren Reinraum ausgelagert werden, um die eigene Fertigung zu ergänzen oder entlasten. Die Durchführung und Dokumentation sämtlicher Prozesse erfolgt von der Entwicklung bis zur Serienfertigung gemäß DIN ISO EN 9001:2015.