Thermisch detektierende Taupunktsensoren
Mikrotechnische Lösung zur präzisen Feuchtebestimmung
Die präzise Bestimmung der Luftfeuchte ist für viele technische Anwendungen von hoher Bedeutung, insbesondere auch im Bereich nahe der Sättigung. (85 bis 100 % r.F.)
Hohe relative Feuchten haben bei Korrosionsvorgängen, bei Bauwerksschäden oder im Umkehrschluss beim Bauwerkserhalt einen bedeutenden Einfluss. Aber auch in anderen Bereichen, so zum Beispiel beim Betrieb von Inkubatoren oder bei der Partikelmessung in der Luft sind hohe Feuchten konstant zu halten oder als Quergröße bei Messungen korrekt zu kompensieren.
Andere Anwendungen hingegen erfordern lediglich einen »Taupunktwächter«, der die drohende Kondensation an einer Oberfläche bereits im Vorfeld erkennen kann, um darauf entsprechend zu reagieren, z. B. durch Heizen.
Für all diese Aufgabenstellungen ist unser thermisch detektierender Taupunktsensor die ideale Basis für eine individuelle Lösung.
Taupunktabstand und relative Feuchte
Unser Sensorchip misst primär den Taupunktanstand – die Temperaturdifferenz zur Umgebungstemperatur ab der eine Kondensation einsetzt. Bei Anwendungen, in denen die relative Feuchte gesucht wird, lässt sich diese aus Taupunkt und Umgebungstemperatur leicht errechnen. Die beiden Eingangsgrößen liefert unser Sensorchip. Den Messbereich begrenzt die Temperaturabsenkung der sensitiven Chipfläche, erzeugt durch eine integrierte Peltierstruktur. Diese beträgt aktuell ca. 10K. Somit können Feuchten ab etwa 65 % bis hin zu 100 % relativer Feuchte präzise bestimmt werden.
Wesentliche Vorteile gegenüber den bekannten Polymerfühlern zur Bestimmung der relativen Feuchte liegen in der guten Auflösung nahe der Sättigungsgrenze sowie in der hohen Robustheit und einer guten chemischen Beständigkeit des Sensorelements.
Hahn-Schickard entwickelt am Standort Villingen-Schwenningen unter anderem anwendungsspezifische Sensoren und Mikrosysteme zur Messung von Taupunkt, Taupunktabstand und relativer Feuchte. In enger Kooperation mit unseren Kunden und Partnern bieten wir hierzu F&E Dienstleistungen von der Idee bis zur Überführung in die Serienfertigung und übernehmen darüber hinaus auch die Fertigung des mikrotechnischen Sensorelements – Taupunktsensor.
