Differenzdrucksensoren
Thermischer Strömungssensor zur Messung kleinster Differenzdrücke
Zur Messung geringster Differenzdrücke eignen sich hervorragend thermische Strömungssensoren, da sie neben einer guten Nullpunktstabilität ihre höchste Empfindlichkeit bei geringen Strömungsgeschwindigkeiten besitzen. Der Einsatz eines thermischen Strömungssensors bietet das Potential, die Kosten auf ein Zehntel gegenüber der Drucksensorlösung zu verringern, wenn geringe Leckgasströme tolerierbar sind. Wir entwickeln und optimieren den passenden Differenzdruck-Messbereich für Ihre Anwendung.
Präziser Differenzdruckkanal mit der Fertigungsgenauigkeit der MEMS Technologie
Durch die monolithische Integration des Strömungskanals in den MEMS Chip wurde eine zuverlässige Technologie gefunden, die hochpräzise kapillare Strömungskanäle erzeugt, die auf den gewünschten Druckabfall angepasst sind. Wir bieten Ihnen eine Lösung zur Messung kleinster Differenz-Drücke von wenigen Pa bis zu 1 bar.
Messbereiche von wenigen Pa bis zu 1 bar
Profitieren Sie von unserer langjährigen Erfahrung in der Auslegung von Thermischen MEMS Sensoren insbesondere bei der Adaptierung des Silizium Chips, der Dimensionierung des Strömungskanals, der Optimierung der Fluidführung und der Elektronik-Integration. Für Ihren Auftrag stehen für Charakterisierung, Algorithmen-Anpassung und Kalibrierung skalierbare und auf Basis von Labview und C# automatisierte Prüfplätze zur Verfügung.
Neben der industriellen Anwendung in der Gebäude-Klimatisierung konnten interdisziplinäre Projekte im Bereich der medizintechnischen Beatmung zur Apnoe-Therapie, des Smart Gas Meterings oder bei analytischen Dosieraufgaben erfolgreich umgesetzt werden.
