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Werkzeuglose Herstellungsverfahren für Hochtemperatur-Sensorelemente (HT-Sensorik)

Es sollen Prozessketten für die Herstellung hochtemperaturtauglicher Sensorelemente mittels digitaler und damit werkzeugloser Fertigungsverfahren erarbeitet, charakterisiert und direkt auf die Komponenten der finalen Anwendung aufgebaut werden.

Damit sollen zum einen Sensorlösungen wie Temperatursensoren, Strömungssensoren, kapazitive Feuchtesensoren sowie Sensoren für elektrische Leitfähigkeit für Hochtemperatur-anwendungen ermöglicht werden, welche z. B. in der Leistungselektronik, der chemischen Industrie und in der Umwelttechnik zur Anwendung kommen. Zum anderen soll eine hoch flexible und effiziente Anfertigung individueller Sensorelemente in kleinen Stückzahlen mit geringem Initialaufwand dargestellt werden, indem die Sensorlayouts direkt aus der CAD-Datei mittels Direktbelichtung oder Laserablation, d.h. ohne Umweg über eine Maske, strukturiert werden.

Project
Werkzeuglose Herstellungsverfahren für Hochtemperatur-Sensorelemente (HT-Sensorik)
Sponsor
AiF - Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen "Otto von Guericke" e.V.
Duration
01.01.2021 to 31.12.2022
Maturity Level
Functional model
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Competences

  • Laser Technology
  • Molded Interconnect Devices (MID)
  • Ceramic Interconnect Devices
  • PVD Technology
  • Materials Science