Werkzeuglose Herstellungsverfahren für Hochtemperatur-Sensorelemente (HT-Sensorik)

Es sollen Prozessketten für die Herstellung hochtemperaturtauglicher Sensorelemente mittels digitaler und damit werkzeugloser Fertigungsverfahren erarbeitet, charakterisiert und direkt auf die Komponenten der finalen Anwendung aufgebaut werden.

Damit sollen zum einen Sensorlösungen wie Temperatursensoren, Strömungssensoren, kapazitive Feuchtesensoren sowie Sensoren für elektrische Leitfähigkeit für Hochtemperatur-anwendungen ermöglicht werden, welche z. B. in der Leistungselektronik, der chemischen Industrie und in der Umwelttechnik zur Anwendung kommen. Zum anderen soll eine hoch flexible und effiziente Anfertigung individueller Sensorelemente in kleinen Stückzahlen mit geringem Initialaufwand dargestellt werden, indem die Sensorlayouts direkt aus der CAD-Datei mittels Direktbelichtung oder Laserablation, d.h. ohne Umweg über eine Maske, strukturiert werden.