Laserdirektstrukturierung von spritzgegossenen keramischen 3D-Schaltungsträgern (LADISK)

Das Ziel des Forschungsvorhabens war die Erarbeitung von Grundlagen für einen Prozess zur Herstellung von laseraktivierbaren Keramiksubstraten mittels Spritzguss sowie für einen additiven laserbasierten Prozess zur Strukturierung und Metallisierung derartiger Keramiksubstrate.

Das Ziel des Forschungsvorhabens war die Erarbeitung von Grundlagen für einen Prozess zur Herstellung von laseraktivierbaren Keramiksubstraten aus Al₂O₃ mittels Spritzguss sowie für einen additiven laserbasierten Prozess zur Strukturierung und Metallisierung derartiger Keramiksubstrate.  

Zunächst wurden an spritzgegossenen Plattensubstraten aus Al₂O₃-Keramik erste Untersuchungen zur Laseraktivierung und außenstromlosen Metallisierung mit Kupfer durchgeführt um wichtige Einflussgrößen zu identifizieren. Anschließend wurden die ermittelten Einflussgrößen gezielt variiert um eine erfolgreiche Metallabscheidung auf spritzgegossenen Keramiksubstraten zu erzielen.

Anhand des Aufbaus eines Technologiedemonstrators mit 3D-Layout und einem Leiterbahnpitch von 200 µm wurde die 3D-Fähigkeit der erarbeiteten Prozesse  keramischer Spritzguss, Laserstrukturierung und Metallisierung erfolgreich gezeigt.