Laserdirektstrukturierung von spritzgegossenen keramischen 3D-Schaltungsträgern (LADISK)

Laserstrukturiertes und metallisiertes Keramiksubstrat

Das Ziel des Forschungsvorhabens war die Erarbeitung von Grundlagen für einen Prozess zur Herstellung von laseraktivierbaren Keramiksubstraten aus Al2O3 mittels Spritzguss sowie für einen additiven laserbasierten Prozess zur Strukturierung und Metallisierung derartiger Keramiksubstrate.  


Zunächst wurden an spritzgegossenen Plattensubstraten aus Al2O3-Keramik erste Untersuchungen zur Laseraktivierung und außenstromlosen Metallisierung mit Kupfer durchgeführt um wichtige Einflussgrößen zu identifizieren. Anschließend wurden die ermittelten Einflussgrößen gezielt variiert um eine erfolgreiche Metallabscheidung auf spritzgegossenen Keramiksubstraten zu erzielen.


Anhand des Aufbaus eines Technologiedemonstrators mit 3D-Layout und einem Leiterbahnpitch von 200 µm wurde die 3D-Fähigkeit der erarbeiteten Prozesse  keramischer Spritzguss, Laserstrukturierung und Metallisierung erfolgreich gezeigt.

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PROJECT FOOTNOTE:

Promoter: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR)
Funding Number: 488 ZN
Duration: 01.06.2013 to 31.05.2015
Cooperation Partner: Universität Stuttgart, Institut für Fertigungstechnologie keramischer Bauteile
Maturity Level: Research

Contact


Hagen Müller
Hahn-Schickard,
Stuttgart
Phone: +49 711 685-84784
Hagen.Mueller@Hahn-Schickard.de
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