Kapazitiver MEMS-Sensor zur simultanen Bestimmung der physikalischen Gaseigenschaften Viskosität und Dichte (DeVisCap)

Im Rahmen des Projekts soll eine kapazitive MEMS-Messstruktur für die simultane Dichte- und Viskositätsmessung in der Gasphase mikrotechnologisch umgesetzt werden. Die Erfassung dieser beiden Größen soll der Überwachung von Reingasen oder der Konzentrationsbestimmung in Gasgemischen dienen.

Die im Projektverlauf iterativ entwickelten Sensorstrukturen werden mittels der bei Hahn-Schickard etablierten Mikrotechnologie im hauseigenen Reinraum gefertigt und anhand von an die Messaufgabe angepasster Messtechnik charakterisiert und validiert. Die validierten Sensorstrukturen werden in Verbindung mit einer geeigneten Auswerteelektronik anschließend als Demonstrationssystem aufgebaut.

Ihre Vorteile im projektbegleitenden Ausschuss:

  • Greifen Sie direkt auf die Projektergebnisse zu
  • Bringen Sie Ihre Ideen ein
  • Steuern Sie das Projekt aus Ihrer Praxissicht

Voraussichtliche Projekt-Laufzeit: 01.10.2017 bis 31.03.2020

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PROJEKTFUSSNOTE:

Fördergeber/Finanzierung: AiF - Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen "Otto von Guericke" e.V.
Projektträger: Hahn-Schickard
Laufzeit: 01.01.2017 bis 01.07.2019
Kooperationspartner: Wir suchen Unternehmen für den projektbegleitenden Ausschuss. Bei Interesse wenden Sie sich an Jan Rockstroh.

Kontakt


Jan Rockstroh
Hahn-Schickard,
Villingen-Schwenningen
Tel.: +49 7721 943-330
Jan.Rockstroh@Hahn-Schickard.de
Anfahrtlink

Weitere Informationen

Die AiF - Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen „Otto von Guericke“ e.V. ist ein 1954 gegründetes, industriegetragenes Innovationsnetzwerk zur Förderung von Forschung und Entwicklung im Mittelstand.